Öz : Bu makalede RF mikroelektromekaniksel anahtarların mekatronik dizaynı anlatılacaktır. Bu dizayn; sonlu elemanlar yöntemi ve tam dalga elekromanyetik simülasyonu kullanılarak mekanik ve elektromanyetik şemaları birleştirir. RF MEMS anahtarlarının mekatronik çalışması, RFIC uygulamaları için sistematik bir tasarım metodolojisini sağlar.
Anahtar Kelimeler: Mekatronik, Anahtar, RF, MEMS Read more »

